擴散硅壓力變送器的可靠性高,擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級,膜片最大位移量在來微米數量級,且無機械磨損,無疲勞,無老化.擴散硅壓力變送器的精度高,擴散硅壓力傳感器的感受\敏感轉換和檢測三位一體,無機械動件連接轉換環節,所以不重復性和遲滯誤差很小.由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線性也非常好.因此它的精度很高.擴散硅壓力變送器
的靈敏度高,擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右.對接囗電路適配性好,應用成本相應較低.由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辯率極高.擴散硅壓力變送器的頻響高, 由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC.制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結構前置安裝特殊設計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲.
用戶在選用擴散硅壓力變送器時,可根據自己所測壓力的性質,首先應確定選擇表壓\差壓\絕對壓力或負壓品種.如果測量液位,還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力.一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜,整個測
量系統中可能出現的異常情況所導致的過載壓力不得超過產品允許的最大過載.測量動態管路液體壓力時,還應考慮水垂效應,
擴散硅壓力變送器在使用時,要注意用活塞壓力計標定時,活塞故障卡死未發現,導致壓力沖開時高過載沖擊敏感膜.擴散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯電阻法進行消除,可采用軟件歸零法\差動輸入修整法\T型電阻網絡修正等.
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